业务范围

从需要清洁管理的半导体、OLED/LCD领域到汽车及一般产业自动化、 本公司以丰富的经验为基础、提供满足客户的最佳解决方案。

 

半导体物流

我们供应200mm Cassette、300mm Foup物流自动化装备的Stocker、OHS/OHT、Rail system、AGV。 我们不仅自行研发并适用灵活地控制全体系统流通量管理的softwa、还通过搬运流量Simulation、 Stocker内气流Simulation、提升人们对制品的信任度。

Stocker

半导体FAB工艺内管理Foup的库存、控制流量、 并使其搬入/搬出/保存的System

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    半导体用 Foup Stocker