200mm Cassette, 300mm Foup thiết bị tự động hóa vật liệu Stocker, OHS/OHT, Rail system, AGV Đang giao hàng. Nói tóm lại, người ta đang áp dụng phần mềm tự phát triển để kiểm soát lượng động vật lưu động và điều khiển nó Simulation, Stocker luồng khí Simulation Thông qua việc này chúng tôi đang nâng cao độ tin cậy đối với sản phẩm.
Stocker
Hệ thống Sourite với mục đích quản lý lượng hàng tồn kho, kiểm soát nguồn nước của Feedback,
sử dụng bán dẫn Foup Stocker
- vật vận chuyển : 300mm Wafer Foup
- Align độ chính xác : 1mm
- Load trọng lượng : 10kg
- Crane Driving tốc độ : 1.5m/s (User Order)
- Lift tốc độ : 1m/s (User Order)
- nơi sử dụng chính : 300mm bán dẫn sự sản
xuất Line (Class 100)
