ZENIX
반도체물류

200mm Cassette, 300mm Foup 물류 자동화 장비인 Stocker, OHS/OHT, Rail system, AGV를
납품
하고 있습니다. 전체 System 물동량 관리를 유동적으로 제어하는 Software를 자체 개발 적용하고 있으며,
반송물동량 Simulation, Stocker내 기류 Simulation을 통해 제품에 대한 신뢰성을 쌓아가고 있습니다.

Rail system
OHT/OHS 천장 반송을 위한 이동경로 system
Rail system
사용 대상 Rail 주행형 Vehicle ( OHT/OHS )
구성 AL Rail, Contactless Power Cable
Type Straight, Curve, Branch, Double Branch
주요사용처 300mm 반도체 생산 Line ( Class 100 )
천장 반송이 필요한 생산 Line