ZENIX
반도체물류

200mm Cassette, 300mm Foup 물류 자동화 장비인 Stocker, OHS/OHT, Rail system, AGV를
납품
하고 있습니다. 전체 System 물동량 관리를 유동적으로 제어하는 Software를 자체 개발 적용하고 있으며,
반송물동량 Simulation, Stocker내 기류 Simulation을 통해 제품에 대한 신뢰성을 쌓아가고 있습니다.

OHS/OHT
Stocker와 연계해서 공정장비 & 타Stocker로
Foup를 반송하며, 고정형 주행 RAIL 방식
OHS/OHT
운반물 300mm Wafer Foup
Align 정밀도 1mm
Load 중량 10kg
Straight 속도 3m/s ( User Order )
Curve 속도 1m/s ( User Order )
Hoist 속도 11sec
Power Contactless Power Supply
주요 사용처 300mm 반도체 생산 Line ( Class 100 )