ZENIX
반도체물류

200mm Cassette, 300mm Foup 물류 자동화 장비인 Stocker, OHS/OHT, Rail system, AGV를
납품
하고 있습니다. 전체 System 물동량 관리를 유동적으로 제어하는 Software를 자체 개발 적용하고 있으며,
반송물동량 Simulation, Stocker내 기류 Simulation을 통해 제품에 대한 신뢰성을 쌓아가고 있습니다.

Stocker
반도체 FAB 공정내 Foup의 재고관리, 물동량을 제어 하며,
반입/반출/저장을 목적으로 하는 System
반도체용 Foup Stocker
운반물 300mm Wafer Foup
Align 정밀도 1mm
Load 중량 10kg
Crane Driving 속도 1.5m/s ( User Order )
Lift 속도 1m/s ( User Order )
주요 사용처 300mm 반도체 생산 Line ( Class 100 )