ZENIX
LCD/OLED 물류

LCD/OLED 생산 Line Glass Cassette, Mask 물류 자동화 장비인 Rackmaster, OHS/OHCV, Stocker, AGV를
납품
하고 있습니다. 전체 System 물동량 관리를 유동적으로 제어하는 Software를 자체 개발 적용하고
있으며, 반송물동량 Simulation, Stocker내 기류 Simulation, Rackmater Robot 동적 응력해석을 통해
제품에 대한 신뢰성을 쌓아가고 있습니다.

OHS/OHCV
Rack Master와 연계해서 공정장비 & 타Rack Master로
Glass Cassette를 반송하며, 고정형 주행 RAIL 방식
OHS/OHCV
Loading/Unloading ROBOT & Stage Align
Align 정밀도 1mm
Load 중량 1,500kg ( User Order )
속도 3m/s ( User Order )
운반물 LCD/OLED Cassette
POWER Contactless Power Supply
Clean Class Class10@0.1㎛
주요 사용처 LCD/OLED 생산 Line