半导体物流

반도체 물류
我们供应200mm Cassette、300mm Foup物流自动化装备的Stocker、OHS/OHT、Rail system, AGV。 我们不仅自行研发并适用灵活地控制全体系统流通量管理的softwa,还通过搬运流量Simulation、 Stocker内气流Simulation,提升人们对制品的信任度。

Stocker

半导体FAB工艺内管理Foup的库存、控制流量,并使其搬入/搬出/保存的System

半导体用 Foup Stocker
半导体用 Foup Stocker
  • 搬运物 : 300mm Wafer Foup
  • Align 精密度 : 1mm
  • Load 重量 : 10kg
  • Crane Driving 速度 : 1.5m/s (User Order)
  • Lift 速度 : 1m/s (User Order)
  • 主要使用处 : 300mm 半导体生产 Line (Class 100)